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智能氮氣柜整體采用304不銹鋼防靜電烤漆處理外形美觀大方。 產(chǎn)品編號：TEB30A47-000-R0； 存放數(shù)量：100柜； 控制系統(tǒng)：ICMS系統(tǒng)； 支持條碼：二維碼； 系統(tǒng)接口：MES系統(tǒng)接口； 操作方式：觸摸屏操作； 材質(zhì)：不銹鋼+表面烤漆； 尺寸：2300*600*1600 mm； 額定電壓：AC220V； 額定電流：＜3A； 最大功耗：＜50W； 環(huán)境溫度：-10~60℃； 溫度控制范圍：10~30℃； 相對濕度監(jiān)控范圍：RH=0~75%； 聯(lián)機支持：3個柜子聯(lián)機使用； 語言：中、英、繁體語言。

12寸晶圓盒采用鋁合金材質(zhì)制作而成，表面陽極氧化處理，穩(wěn)固耐用，耐磨耐腐蝕！ 編號：DSF20A12-000-R0； 材質(zhì)：6063鋁型材； 槽數(shù)：13槽； 尺寸：394.4*387*192.5 mm； 重量≈6.3 kg； 起始位：32.7 mm； 平整度≤0.05mm； 氧化工藝：表面陽極氧化處理； 適用于disco切割劃片設(shè)備，可根據(jù)要求進行定制；